Deposition of conformal copper and nickel films from supercritical carbon dioxide

  1. Blackburn, J.M.
  2. Long, D.P.
  3. Cabañas, A.
  4. Watkins, J.J.
Aldizkaria:
Science

ISSN: 0036-8075

Argitalpen urtea: 2001

Alea: 294

Zenbakia: 5540

Orrialdeak: 141-145

Mota: Artikulua

DOI: 10.1126/SCIENCE.1064148 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus