Dielectric properties of anodic films formed on sputtering-deposited tantalum in phosphoric acid solution

  1. Lu, Q.
  2. Mato, S.
  3. Skeldon, P.
  4. Thompson, G.E.
  5. Masheder, D.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Ano de publicación: 2003

Volume: 429

Número: 1-2

Páxinas: 238-242

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/S0040-6090(02)01292-0 GOOGLE SCHOLAR
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