Study of thermal treated a-Si implanted with Er and O ions

  1. Plugaru, R.
  2. Méndez, B.
  3. Piqueras, J.
  4. Tate, T.J.
Zeitschrift:
Journal of Physics Condensed Matter

ISSN: 0953-8984

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 14

Nummer: 48

Seiten: 13153-13159

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0953-8984/14/48/363 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus