Study of thermal treated a-Si implanted with Er and O ions
- Plugaru, R.
- Méndez, B.
- Piqueras, J.
- Tate, T.J.
ISSN: 0953-8984
Année de publication: 2002
Volumen: 14
Número: 48
Pages: 13153-13159
Type: Article
ISSN: 0953-8984
Année de publication: 2002
Volumen: 14
Número: 48
Pages: 13153-13159
Type: Article