Composition and optical properties of silicon oxynitride films deposited by electron cyclotron resonance
- Del Prado, A.
- San Andrés, E.
- Martínez, F.L.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
- Bohne, W.
- Röhrich, J.
- Selle, B.
- Fernández, M.
ISSN: 0042-207X
Año de publicación: 2002
Volumen: 67
Número: 3-4
Páginas: 507-512
Tipo: Aportación congreso