Deposition of low temperature Si-based insulators by the electron cyclotron resonance plasma method

  1. Garcia, S.
  2. Martin, J.M.
  3. Martil, I.
  4. Fernandez, M.
  5. Gonzalez-Diaz, G.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 1998

Volumen: 317

Número: 1-2

Páginas: 116-119

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0040-6090(97)00510-5 GOOGLE SCHOLAR
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