The influence of SiNx:H film properties on the electrical characteristics of metal-insulator-semiconductor devices

  1. Garcia, S.
  2. Mártil, I.
  3. Gonzalez Diaz, G.
  4. Fernandez, M.
Zeitschrift:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242

Datum der Publikation: 1997

Ausgabe: 12

Nummer: 12

Seiten: 1650-1653

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0268-1242/12/12/018 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus