Properties of a-SiNx.: H films deposited at room temperature by the electron cyclotron resonance plasma method
- Garcia, S.
- Martin, J.M.
- Fernandez, M.
- Martil, I.
- Gonzalez-Diaz, G.
ISSN: 1364-2812
Ano de publicación: 1996
Volume: 73
Número: 3
Páxinas: 487-502
Tipo: Artigo