Role of oxygen on the dangling bond configuration of low oxygen content SiNx:H films deposited at room temperature

  1. Garcia, S.
  2. Bravo, D.
  3. Fernandez, M.
  4. Martil, I.
  5. López, F.J.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Any de publicació: 1995

Volum: 67

Pàgines: 3263

Tipus: Article

DOI: 10.1063/1.114892 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus