Role of oxygen on the dangling bond configuration of low oxygen content SiNx:H films deposited at room temperature

  1. Garcia, S.
  2. Bravo, D.
  3. Fernandez, M.
  4. Martil, I.
  5. López, F.J.
Zeitschrift:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Datum der Publikation: 1995

Ausgabe: 67

Seiten: 3263

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.114892 GOOGLE SCHOLAR
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