Self-organised silicide nanodot patterning by medium-energy ion beam sputtering of Si(100): Local correlation between the morphology and metal content

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Revista:
Nanotechnology

ISSN: 1361-6528,  0957-4484

Año de publicación: 2016

Volumen: 27

Número: 44

Tipo: Artículo

DOI: 10.1088/0957-4484/27/44/444001 GOOGLE SCHOLAR
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