Development of a data acquisition and control system for thin film deposition equipment and its application to metals-MBE

  1. Martín, P.P.
  2. Alonso, C.E.
  3. Domingo, I.
  4. Ruiz, A.
Revista:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Año de publicación: 2002

Volumen: 64

Número: 3-4

Páginas: 373-379

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0042-207X(01)00333-5 GOOGLE SCHOLAR
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