High quality Ti-implanted Si layers above solid solubility limit

  1. Olea, J.
  2. Pastor, D.
  3. Toledano-Luque, M.
  4. San-Andrés, E.
  5. Mártil, I.
  6. González-Díaz, G.
Actes:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Any de publicació: 2009

Pàgines: 38-41

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800424 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus