High quality Ti-implanted Si layers above solid solubility limit
- Olea, J.
- Pastor, D.
- Toledano-Luque, M.
- San-Andrés, E.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
Konferenzberichte:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09
ISBN: 9781424428397
Datum der Publikation: 2009
Seiten: 38-41
Art: Konferenz-Beitrag