Electrical properties of R.F.-sputtered SiO2 films
- Santamaría, J.
- Sánchez Quesada, F.
- Gonzalez Díaz, G.
- Iborra, E.
- Rodriguez Vidal, M.
ISSN: 0040-6090
Année de publication: 1985
Volumen: 125
Número: 3-4
Pages: 299-303
Type: Article
Revue:
Thin Solid Films
