Influence of the sputtering gas pressure on deposition profiles

  1. Gras-Marti, A.
  2. Vallés-Abarca, J.A.
  3. González-Diaz, G.
  4. Mártil, I.
  5. Sanchez-Quesada, F.
  6. Rodriguez-Vidal, M.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 1520-8559,  0734-2101

Any de publicació: 1983

Volum: 1

Número: 3

Pàgines: 1394-1397

Tipus: Article

DOI: 10.1116/1.572028 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus