Influence of the sputtering gas pressure on deposition profiles

  1. Gras-Marti, A.
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  6. Rodriguez-Vidal, M.
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 1520-8559,  0734-2101

Datum der Publikation: 1983

Ausgabe: 1

Nummer: 3

Seiten: 1394-1397

Art: Artikel

DOI: 10.1116/1.572028 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus