Fabrication and characterisation of thin low-temperature MBE-compatible silicon oxides of different stoichiometry

  1. Strass, A.
  2. Bieringer, P.
  3. Hansch, W.
  4. Fuenzalida, V.
  5. Alvarez, A.
  6. Luna, J.
  7. Martil, I.
  8. Martinez, F.L.
  9. Eisele, I.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Any de publicació: 1999

Volum: 349

Número: 1-2

Pàgines: 135-146

Tipus: Article

DOI: 10.1016/S0040-6090(99)00166-2 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus