Fabrication and characterisation of thin low-temperature MBE-compatible silicon oxides of different stoichiometry

  1. Strass, A.
  2. Bieringer, P.
  3. Hansch, W.
  4. Fuenzalida, V.
  5. Alvarez, A.
  6. Luna, J.
  7. Martil, I.
  8. Martinez, F.L.
  9. Eisele, I.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Ano de publicación: 1999

Volume: 349

Número: 1-2

Páxinas: 135-146

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/S0040-6090(99)00166-2 GOOGLE SCHOLAR