Deuteron implantation into hexagonal silicon carbide: Defects and deuterium behaviour

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Zeitschrift:
EPJ Applied Physics

ISSN: 1286-0042

Datum der Publikation: 2003

Ausgabe: 23

Nummer: 1

Seiten: 11-18

Art: Artikel

DOI: 10.1051/EPJAP:2002116 GOOGLE SCHOLAR