Spectroscopic ellipsometry of non-absorbing films independent of film thickness

  1. Martínez-Antón, J.C.
  2. Gómez-Pedrero, J.A.
Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 193

Nummer: 1-4

Seiten: 268-276

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0169-4332(02)00494-4 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus