Spectroscopic ellipsometry of non-absorbing films independent of film thickness

  1. Martínez-Antón, J.C.
  2. Gómez-Pedrero, J.A.
Aldizkaria:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Argitalpen urtea: 2002

Alea: 193

Zenbakia: 1-4

Orrialdeak: 268-276

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/S0169-4332(02)00494-4 GOOGLE SCHOLAR