Modelos teoricos del transporte, erosion y deposito en sistemas de descarga
- MORENO MARIN JUAN CARLOS
Universität der Verteidigung: Universitat de València
Jahr der Verteidigung: 1991
- Vicente Such Präsident/in
- Andrés Cantarero Sekretär/in
- Martin Vicanek Vocal
- José Juan Jiménez Rodríguez Vocal
- Isabel Abril Sánchez Vocal
Art: Dissertation
Zusammenfassung
LOS SISTEMAS DE DESCARGAS LUMINISCENTES SON MUY UTILIZADOS TECNOLOGICAMENTE EN LOS PROCESOS DE DEPOSITO DE PELICULAS DELGADAS Y GRABADO DE SUPERFICIES. EN ESTE TRABAJO SE HAN DESARROLLADO LAS HERRAMIENTAS TEORICAS NECESARIAS PARA EL ESTUDIO DE LOS FENOMENOS FUNDAMENTALES QUE ALLI SE PRODUCEN: - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL TRANSPORTE DE IONES ENERGETICOS EN SOLIDOS. - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL TRANSPORTE DE ATOMOS PULVERIZADOS EN PLASMAS. - MODELO ANALITICO DEL GRABADO IONICO CON LA INCORPORACION DE EFECTOS SECUNDARIOS. - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL DEPOSITO ATOMICO REPRODUCIENDO EL CRECIMIENTO EPITAXIAL E INCORPORANDO LA INCIDENCIA DE IONES ENERGETICOS. - ESTUDIO DE LA GENERACION DE DIFERENTES ESPECIES EN LA DESCARGA. CON ESTOS MODELOS SE HAN REALIZADO NUMEROSAS APLICACIONES.