Modelos teoricos del transporte, erosion y deposito en sistemas de descarga

  1. MORENO MARIN JUAN CARLOS

Defence university: Universitat de València

Year of defence: 1991

Committee:
  1. Vicente Such Chair
  2. Andrés Cantarero Secretary
  3. Martin Vicanek Committee member
  4. José Juan Jiménez Rodríguez Committee member
  5. Isabel Abril Sánchez Committee member

Type: Thesis

Teseo: 31166 DIALNET

Abstract

LOS SISTEMAS DE DESCARGAS LUMINISCENTES SON MUY UTILIZADOS TECNOLOGICAMENTE EN LOS PROCESOS DE DEPOSITO DE PELICULAS DELGADAS Y GRABADO DE SUPERFICIES. EN ESTE TRABAJO SE HAN DESARROLLADO LAS HERRAMIENTAS TEORICAS NECESARIAS PARA EL ESTUDIO DE LOS FENOMENOS FUNDAMENTALES QUE ALLI SE PRODUCEN: - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL TRANSPORTE DE IONES ENERGETICOS EN SOLIDOS. - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL TRANSPORTE DE ATOMOS PULVERIZADOS EN PLASMAS. - MODELO ANALITICO DEL GRABADO IONICO CON LA INCORPORACION DE EFECTOS SECUNDARIOS. - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL DEPOSITO ATOMICO REPRODUCIENDO EL CRECIMIENTO EPITAXIAL E INCORPORANDO LA INCIDENCIA DE IONES ENERGETICOS. - ESTUDIO DE LA GENERACION DE DIFERENTES ESPECIES EN LA DESCARGA. CON ESTOS MODELOS SE HAN REALIZADO NUMEROSAS APLICACIONES.