Modelos teoricos del transporte, erosion y deposito en sistemas de descarga
- MORENO MARIN JUAN CARLOS
Defentsa unibertsitatea: Universitat de València
Defentsa urtea: 1991
- Vicente Such Presidentea
- Andrés Cantarero Idazkaria
- Martin Vicanek Kidea
- José Juan Jiménez Rodríguez Kidea
- Isabel Abril Sánchez Kidea
Mota: Tesia
Laburpena
LOS SISTEMAS DE DESCARGAS LUMINISCENTES SON MUY UTILIZADOS TECNOLOGICAMENTE EN LOS PROCESOS DE DEPOSITO DE PELICULAS DELGADAS Y GRABADO DE SUPERFICIES. EN ESTE TRABAJO SE HAN DESARROLLADO LAS HERRAMIENTAS TEORICAS NECESARIAS PARA EL ESTUDIO DE LOS FENOMENOS FUNDAMENTALES QUE ALLI SE PRODUCEN: - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL TRANSPORTE DE IONES ENERGETICOS EN SOLIDOS. - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL TRANSPORTE DE ATOMOS PULVERIZADOS EN PLASMAS. - MODELO ANALITICO DEL GRABADO IONICO CON LA INCORPORACION DE EFECTOS SECUNDARIOS. - SIMULACIONES MONTE CARLO DEL DEPOSITO ATOMICO REPRODUCIENDO EL CRECIMIENTO EPITAXIAL E INCORPORANDO LA INCIDENCIA DE IONES ENERGETICOS. - ESTUDIO DE LA GENERACION DE DIFERENTES ESPECIES EN LA DESCARGA. CON ESTOS MODELOS SE HAN REALIZADO NUMEROSAS APLICACIONES.