High resolution two-dimensional zero reference marks design with optimization algorithms

  1. Saez-Landete, J.
  2. Alonso, J.
  3. Bernabeu, E.
Actes:
EUSPEN 2005 - Proceedings of the 5th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

Any de publicació: 2005

Pàgines: 213-216

Tipus: Aportació congrés

GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus