Improved retention of phosphorus donors in germanium using a non-amorphizing fluorine co-implantation technique

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Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 1089-7550 0021-8979

Año de publicación: 2018

Volumen: 123

Número: 16

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.4999210 GOOGLE SCHOLAR

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