Extremely high-aspect-ratio ultrafast Bessel beam generation and stealth dicing of multi-millimeter thick glass
- Meyer, R.
- Froehly, L.
- Giust, R.
- Del Hoyo, J.
- Furfaro, L.
- Billet, C.
- Courvoisier, F.
Zeitschrift:
Applied Physics Letters
ISSN: 0003-6951
Datum der Publikation: 2019
Ausgabe: 114
Nummer: 20
Art: Artikel