Comparative performance of static-mode ferrous MEMS gradiometers fabricated by a three-step DRIE process

  1. Campanella, H.
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  7. Plaza, J.A.
Revista:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 0960-1317,  1361-6439

Año de publicación: 2010

Volumen: 20

Número: 7

Tipo: Artículo

DOI: 10.1088/0960-1317/20/7/075006 GOOGLE SCHOLAR
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