High energy X-ray diffraction analysis of strain and residual stress in silicon nitride ceramic diffusion bonds

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  2. Prieto, C.
  3. Miranzo, P.
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  6. Vaughan, G.B.M.
Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 2005

Ausgabe: 238

Nummer: 1-4

Seiten: 119-123

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.NIMB.2005.06.030 GOOGLE SCHOLAR

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