Mechanical properties of sputtered silicon nitride thin films
- Vila, M.
- Cáceres, D.
- Prieto, C.
ISSN: 0021-8979
Año de publicación: 2003
Volumen: 94
Número: 12
Páginas: 7868-7873
Tipo: Artículo
ISSN: 0021-8979
Año de publicación: 2003
Volumen: 94
Número: 12
Páginas: 7868-7873
Tipo: Artículo