Characterization of Si implantation and annealing of InP by Raman spectroscopy

  1. Artus, L
  2. Cusco, R
  3. Martin, JM
  4. GonzalezDiaz, G
Colección de libros:
BEAM-SOLID INTERACTIONS FOR MATERIALS SYNTHESIS AND CHARACTERIZATION
  1. Jacobson, DC (coord.)
  2. Luzzi, DE (coord.)
  3. Heinz, TF (coord.)
  4. Iwaki, M (coord.)

ISSN: 0272-9172

ISBN: 1-55899-255-3

Año de publicación: 1995

Volumen: 354

Páginas: 213-217

Congreso: Symposium on Beam-Solid Interactions for Materials Synthesis and Characterization, at the 1994 MRS Fall Meeting

Tipo: Aportación congreso

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Fuente de los datos: WoS