Line width dependent mobility in high-k - a comparative performance study between FUSI and TiN

  1. Pantisano, L.
  2. Trojman, L.
  3. Severi, S.
  4. San Andres, E.
  5. Kerner, C.
  6. Veloso, A.
  7. Ferain, I.
  8. Hoffman, T.
  9. Groeseneken, G.
  10. De Gendt, S.
Llibre:
2007 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY, SYSTEMS AND APPLICATIONS (VLSI-TSA), PROCEEDINGS OF TECHNICAL PAPERS

ISBN: 978-1-4244-0584-8

Any de publicació: 2007

Pàgines: 38-39

Congrés: International Symposium on VLSI Technology, Systems and Applications

Tipus: Aportació congrés

GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: WoS