Selective spatial atomic layer deposition of Cu, Cu2O, and CuO thin films in the open air: reality or fiction?

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Revista:
Materials Today Chemistry

ISSN: 2468-5194

Año de publicación: 2023

Volumen: 29

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MTCHEM.2023.101431 GOOGLE SCHOLAR
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