Control of the thickness distribution of evaporated functional electroceramic NTC thermistor thin films

  1. Schmidt, R.
  2. Parlak, M.
  3. Brinkman, A.W.
Revista:
Journal of Materials Processing Technology

ISSN: 0924-0136

Any de publicació: 2008

Volum: 199

Número: 1

Pàgines: 412-416

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.JMATPROTEC.2007.08.014 GOOGLE SCHOLAR