Control of the thickness distribution of evaporated functional electroceramic NTC thermistor thin films

  1. Schmidt, R.
  2. Parlak, M.
  3. Brinkman, A.W.
Zeitschrift:
Journal of Materials Processing Technology

ISSN: 0924-0136

Datum der Publikation: 2008

Ausgabe: 199

Nummer: 1

Seiten: 412-416

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.JMATPROTEC.2007.08.014 GOOGLE SCHOLAR
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