GdScO electrical results

  1. ENRIQUE SAN ANDRÉS SERRANO

Data de creació: 10-01-2023

Tipus: DATASET

Descripció

Electrical measurements of GdScO MIS capacitors with different metal gates and different annealing temperatures.

Documents relacionats

High-k gadolinium scandate on Si obtained by high pressure sputtering from metal targets and in-situ plasma oxidation

Tipus: Article

Projectes relacionats

FABRICACIÓN DE DISPOSITIVOS DE EFECTO CAMPO CON DIELÉCTRICO DE ALTA PERMITIVIDAD SOBRE SI Y SEMICONDUCTORES III.

TEC2010-18051

Fitxers

DATASET lock_openSerieN-GdScO.opj 720 KB