Crecimiento y caracterizacion de GaAs sobre Si por epitaxia de haces moleculares

  1. González Díez, María Yolanda
Dirigida por:
  1. Luisa González Sotos Director/a

Universidad de defensa: Universidad Complutense de Madrid

Año de defensa: 1991

Tribunal:
  1. Francisco Javier Piqueras de Noriega Presidente
  2. Claudio Aroca Hernández-Ros Secretario
  3. José Luis Castaño Palazón Vocal
  4. Dolores Gomayo Fernandez Vocal
  5. Federico Soria Gallego Vocal

Tipo: Tesis

Resumen

En este trabajo de tesis se estudian y aportan soluciones a los problemas intrínsecamente ligados al sistema epitaxial GaAs sobre sí. Se ha estudiado el proceso de nucleación, la distribución de tensiones que aparece debido a la diferencia de parámetros de red y de coeficiente de expansión térmica que existe entre estos materiales, el proceso de aniquilación de dominios de antifase que aparecen por el hecho de crecer un material polar sobre uno no polar y se han realizado crecimientos a baja temperatura sobre substratos de sí también tratados a baja temperatura.