Procesos de oxidación de Si mediante plasma de resonancia ciclotrónica de electrones

  1. San Andrés, E.
  2. Prado, A. del
  3. Blázquez, A.J.
  4. Mártil de la Plaza, Ignacio
  5. González-Díaz, G.
Revista:
Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio

ISSN: 0366-3175

Año de publicación: 2004

Título del ejemplar: VII Reunión Nacional de Materiales

Volumen: 43

Número: 2

Páginas: 379-382

Tipo: Artículo

DOI: 10.3989/CYV.2004.V43.I2.546 DIALNET GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor

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