DRIE based technology for 3D silicon barcodes fabrication

  1. Gómez-Martínez, R.
  2. Sánchez, A.
  3. Duch, M.
  4. Esteve, J.
  5. Plaza, J.A.
Zeitschrift:
Sensors and Actuators, B: Chemical

ISSN: 0925-4005

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 154

Nummer: 2

Seiten: 181-184

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.SNB.2009.11.008 GOOGLE SCHOLAR
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