DRIE based technology for 3D silicon barcodes fabrication
- Gómez-Martínez, R.
- Sánchez, A.
- Duch, M.
- Esteve, J.
- Plaza, J.A.
ISSN: 0925-4005
Ano de publicación: 2011
Volume: 154
Número: 2
Páxinas: 181-184
Tipo: Achega congreso
ISSN: 0925-4005
Ano de publicación: 2011
Volume: 154
Número: 2
Páxinas: 181-184
Tipo: Achega congreso