DRIE based technology for 3D silicon barcodes fabrication
- Gómez-Martínez, R.
- Sánchez, A.
- Duch, M.
- Esteve, J.
- Plaza, J.A.
ISSN: 0925-4005
Argitalpen urtea: 2011
Alea: 154
Zenbakia: 2
Orrialdeak: 181-184
Mota: Biltzar ekarpena
ISSN: 0925-4005
Argitalpen urtea: 2011
Alea: 154
Zenbakia: 2
Orrialdeak: 181-184
Mota: Biltzar ekarpena