Patterning of ALD HfO2 layers on silicon

  1. Andreu, R.
  2. Sánchez, J.
  3. Sánchez, A.
  4. Zabala, M.
  5. Acero, M.C.
  6. Rafi, J.M.
  7. Campabadal, F.
Aktak:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566777414

Argitalpen urtea: 2009

Alea: 25

Zenbakia: 4

Orrialdeak: 309-314

Mota: Biltzar ekarpena

GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus