Patterning of ALD HfO2 layers on silicon

  1. Andreu, R.
  2. Sánchez, J.
  3. Sánchez, A.
  4. Zabala, M.
  5. Acero, M.C.
  6. Rafi, J.M.
  7. Campabadal, F.
Actes de conférence:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566777414

Année de publication: 2009

Volumen: 25

Número: 4

Pages: 309-314

Type: Communication dans un congrès

GOOGLE SCHOLAR
La source de données: Scopus