DRIE based novel technique for AFM probes fabrication

  1. Villanueva, G.
  2. Plaza, J.A.
  3. Sánchez, A.
  4. Zinoviev, K.
  5. Pérez-Murano, F.
  6. Bausells, J.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Año de publicación: 2007

Volumen: 84

Número: 5-8

Páginas: 1132-1135

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MEE.2007.01.078 GOOGLE SCHOLAR
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