Deposition of conformal copper and nickel films from supercritical carbon dioxide

  1. Blackburn, J.M.
  2. Long, D.P.
  3. Cabañas, A.
  4. Watkins, J.J.
Revista:
Science

ISSN: 0036-8075

Año de publicación: 2001

Volumen: 294

Número: 5540

Páginas: 141-145

Tipo: Artículo

DOI: 10.1126/SCIENCE.1064148 GOOGLE SCHOLAR
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