The influence of SiNx:H film properties on the electrical characteristics of metal-insulator-semiconductor devices

  1. Garcia, S.
  2. Mártil, I.
  3. Gonzalez Diaz, G.
  4. Fernandez, M.
Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242

Año de publicación: 1997

Volumen: 12

Número: 12

Páginas: 1650-1653

Tipo: Artículo

DOI: 10.1088/0268-1242/12/12/018 GOOGLE SCHOLAR
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