Properties of a-SiNx.: H films deposited at room temperature by the electron cyclotron resonance plasma method

  1. Garcia, S.
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Revista:
Philosophical Magazine B: Physics of Condensed Matter; Statistical Mechanics, Electronic, Optical and Magnetic Properties

ISSN: 1364-2812

Año de publicación: 1996

Volumen: 73

Número: 3

Páginas: 487-502

Tipo: Artículo

DOI: 10.1080/13642819608239130 GOOGLE SCHOLAR

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