Role of oxygen on the dangling bond configuration of low oxygen content SiNx:H films deposited at room temperature

  1. Garcia, S.
  2. Bravo, D.
  3. Fernandez, M.
  4. Martil, I.
  5. López, F.J.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Año de publicación: 1995

Volumen: 67

Páginas: 3263

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.114892 GOOGLE SCHOLAR
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