Electrical characterization of high-pressure reactive sputtered ScO x films on silicon

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Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 519

Nummer: 7

Seiten: 2268-2272

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.TSF.2010.10.073 GOOGLE SCHOLAR

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